About: Electron-beam lithography

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rdfs:label	Electron-beam lithography (en) Elektronenstrahllithografie (de) Lithographie à faisceau d'électrons (fr) Litografia por feixe de elétrons (pt) Quang khắc chùm điện tử (vi) Электронная литография (ru) 電子線描画装置 (ja)
rdfs:comment	L'utilisation d'un faisceau d'électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d'électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l'avantage de cette technique est qu'elle permet de repousser les limites de la diffraction de la lumière et de dessiner des motifs avec une résolution pouvant aller jusqu'au nanomètre. Cette forme de lithographie a trouvé diverses formes d'application dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs et dans ce qu'il est convenu d'appeler les nanotechnologies. (fr)
rdfs:seeAlso	https://commons.wikimedia.org/wiki/Category:Electron_beam_microlithography https://www.britannica.com/technology/electron-beam-lithography https://www.quora.com/topic/Electron-Beam-Lithography
sameAs	Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography Electron-beam lithography
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